Target Molibdenum Untuk Sputtering RF

May 29, 2026

Tinggalkan pesan

 

Pertanyaan dari Pelanggan Aisa

Kami menerima penawaran melalui situs web perusahaan kami pagi ini, pelanggan berasal dari pasar Asia, dan dia tertarik dengan produk kami mengenai target sputtering frekuensi radio Molibdenum (RF) dengan kemurnian tinggi.

Spesifikasi produk pelanggan adalah target logam molibdenum berdiameter 50,8 mm (2 inci), tebal 5 mm dengan kemurnian 99,95% (3N5).

Bentuk target sputtering Molibdenum yang dia tanyakan adalah target molibdenum melingkar datar, ini adalah bentuk paling umum dari target bulat molibdenum.

Dan permintaan kerataannya adalah kerataan Kurang dari atau sama dengan 0,05 mm, dan juga membutuhkan permukaan kerja yang halus yang cocok untuk sputtering magnetron RF; dan tidak ada retakan, pori-pori di permukaan, atau oksidasi sesuai permintaan.

 

00322018-06-21FC5964DF

Produk target molibdenum murni apa yang dapat kami tawarkan?

 

• Kemurnian: 3N5 (kemurnian 99,95%) - 4N (kemurnian 99,99%)

- Mo1: Lebih besar atau sama dengan 99,95% Mo (3N5), utama digunakan untuk industri, seperti display / fotovoltaik / pelapisan umum

- Mo2: Lebih besar dari atau sama dengan 99,9% Mo (3N), penggunaan utama karena hemat biaya-, untuk lapisan umum / film dekoratif

- Mo3: Lebih besar atau sama dengan 99,5% Mo (2N5), banyak digunakan untuk aplikasi-kelas bawah/penelitian

- Kemurnian tinggi / ultra tinggi (4N Molibdenum : 99,99%), terutama digunakan untuk film semikonduktor / OLED / presisi-tinggi

 

Sifat Fisik Dasar (Paling Kritis)

 

• Kepadatan: 10,2 g/cm³ (teoretis), Pori-pori sedikit, tidak mudah menghasilkan 'penyemprotan bubuk' dan keluarnya cairan tidak normal (busur)

• Titik lebur: 2620 derajat, sangat stabil secara termal; dan tidak mudah berubah bentuk saat sputtering dengan daya rekat yang kuat.

• Konduktivitas Termal: 138–142 W/(m·K), pembuangan panas yang cepat, dan bagus untuk sputtering berdaya tinggi

• Koefisien Ekspansi Termal: ~4,9×10⁻⁶ / derajat , sangat rendah, dan dapat mengakibatkan guncangan termal dan stabilitas dimensi yang minimal

• Resistivitas: ~5,2 μΩ·cm, konduktivitas listrik sangat baik dan busur listrik stabil

• Kekuatan tarik ~540 MPa

. Kekerasan Vickers ~250 HV, dengan Proses keuletan tertentu dan Keunggulan Film Tipis

• Targetkan butiran berukuran 50–100 μm, pastikan erosi sputtering seragam dan pelepasan partikel minimal

 

 

 

Toleransi ukuran normal untuk produk kami bervariasi sesuai dengan diameter yang berbeda sebagai berikut

Diameter Ketebalan
φ25.4(1") 2/3
φ50.8(2") 3/5
φ76.2(3") 3/4/5
φ101.6 4/5/6
φ150 5/6/8
φ200 6/8/10

Harap diperhatikan:φ300 - ketebalan 8/10/12mm, atau disesuaikan.

 

 
 
Toleransi Dimensi (GB/T 14592-2014 + Standar Industri)
Kisaran diameter Toleransi diameter (mm)
φ10-30 ±0.10
φ30-50 ±0.14
φ50-80 ±0.16
φ80-300 ±0.20

Please note :  >φ300: ±0,30 (Bisa Nego)

Toleransi Bentuk dan Posisi (Kritis Penting, Mempengaruhi Keseragaman Sputtering)

 


•Kerataan Cakram Molibdenum: Kurang dari atau sama dengan 0,03 mm/100 mm (High-End); Kurang dari atau sama dengan 0,1 mm/100 mm (Standar)
• Kebulatan: Kurang dari atau sama dengan 0,05 mm
• Paralelisme: Kurang dari atau sama dengan 0,05 mm

Kekasaran Permukaan Molibdenum Murni


• Standar: Ra Kurang dari atau sama dengan 0,8 μm
• High-End: Ra Kurang dari atau sama dengan 0,4 μm (Persyaratan Semikonduktor / Keseragaman Tinggi)

 

Pertanyaan Umum

 

Kecuali target sputtering Molibdenum yang bisa Anda berikan, bahan lain bisa?

Ya, kami memiliki tungsten, molibdenum, titanium, tantalum, niobium, zirkonium, Nikel dll logam non besi.

 

Kirim permintaan